一、精密五金加工
精密五金加工精度以納米，以至最后以原子單位為目的時(shí)，超精密零件切削加工辦法已不能順應(yīng)，必要借助特種精密五金加工的辦法，即應(yīng)用化學(xué)能、電化學(xué)能、熱能或電能等。使這些能量超越原子間的結(jié)合能，從而去除工件表面的局部原子間的附著、結(jié)合或晶格變形，以到達(dá)超精密加工的目的。屬于這類加工的有機(jī)械化學(xué)拋光、離子濺射和離子注入、電子束曝射、激光束加工、金屬蒸鍍和分子束外延等。
二、精密五金切削加工
主要有精密車削、鏡面磨削和研磨等，在精密車床上用經(jīng)過(guò)精密研磨的單晶金剛石車刀進(jìn)行微量車削，切削厚度僅1微米左右。常用于加工有色金屬資料的球面、非球面和平面的反射鏡等高精度、表面高度光亮的零件。
